装置概要

装置ID

36

メーカー

株式会社日立ハイテク

形式

E-1010

設置場所

黒髪南キャンパス 工学部附属工学研究機器センター・3階・301室

概要

EPMA等試料前処理装置（イオンスパッタ）
概要：非導電性物質観察時のチャージアップ防止
　　　ターゲット材料（金，白金，カーボン）を試料表面にコーティング

管理者

佐藤　徹哉

TEL

096-342-3879

メール

t-sato@tech.kumamoto-u.ac.jp