装置概要

装置ID

360

メーカー

Carl Zeiss

形式

Cross Beam 550

設置場所

黒髪南キャンパスキャンパス SOIL棟1階S107分析機器室③

概要

最高30kVのGaイオンビームにて加工。
デポジションガスはC、Pt、W、インシュレータ、XeF2ガスを搭載。
SEMでは二次電子、反射電子による観察が可能。
STEM用ホルダー、検出器を搭載。
EDSによる元素分析およびEBSDによる結晶方位解析が可能。
専用ホルダーによりTKD（透過EBSD）取得可能。
フェムト秒レーザーによるミリメートルスケールの加工。
ペルチェステージにより最低-85℃にて加工、観察が可能。

管理者

庄﨑　雅裕

TEL

096-342-3518

メール

shozaki@tech.kumamoto-u.ac.jp