装置概要

装置ID

362

メーカー

日本電子株式会社

形式

IB-19550CCP

設置場所

黒髪南キャンパスキャンパス SOIL棟1階S107分析機器室③

概要

遮蔽版が設置された試料上にArイオンビームを照射し、エッチングされる部分と遮蔽版によって照射から保護される領域を試料上に作り、SEM観察等のための断面試料を作製する。
特徴：イオンビーム照射中の試料冷却が可能。チャンバー内のカメラにより試料加工中の加工状態を観察可能

管理者

豊田　洋輝

TEL

096-342-3518

メール

toyoda@tech.kumamoto-u.ac.jp