装置概要

装置ID

364

メーカー

ネオアーク株式会社

形式

DDB-701

設置場所

黒髪南地区キャンパス SOIL棟5階クリーンルーム

概要

デスクトップサイズの露光装置です。DMD(Digital Micro-mirror Device)を利用したマスクレス露光方式のためフォトマスクが不要で、2D CADや画像エディタ等で作成した任意のパターンを露光する事が可能です。100mm角（約4インチ）の露光範囲が得られます。数ミクロン～数ミリ程度の微細電極や構造体の作製、それらを組み合わせたMEMSやMicroTASといった、幅広い分野にお役立ていただけます。

管理者

半導体プロセスWT

TEL

096-342-3518

メール

yoshioka@tech.kumamoto-u.ac.jp