装置概要

装置ID

365

メーカー

ミカサ株式会社

形式

MS-B100

設置場所

黒髪南地区キャンパス SOIL棟5階クリーンルーム

概要

小型・卓上型のスピンコーター（回転塗布機）です。主に研究開発や試作ライン、大学などの研究機関において、半導体基板やガラス基板へフォトレジストをはじめとする各種薄膜材料を均一に塗布・成膜する用途で広く利用されています。最大で4インチのウェハーや75×75mmサイズの角型基板にも対応しています。

管理者

半導体プロセスWT

TEL

096-342-3518

メール

semi@tech.kumamoto-u.ac.jp