装置概要

装置ID

369

メーカー

興研株式会社

形式

LAMIKOACH J 645-H

設置場所

黒髪南地区キャンパス SOIL棟5階　半導体機器室(S502)

概要

ラミコーチは、クリーン化された空気を吹き出すプッシュフードと、その気流をバランスよく吸引するプルフードによって構成されるコンタミナント対策用換気装置です。
プッシュフードから吹き出すクリーンな気流がエリア内部で発生したコンタミナントをしっかり捕捉・搬送し、プルフードから排気します。プルフードにはHEPAフィルタを内蔵しているので、排出した空気がクリーンルームを汚染することがありません。
○開口面距離　1500mm以内
○フィルタ　　HEPAフィルタ、中性能フィルタ、プレフィルタ
○排気方式　　室内循環

管理者

半導体プロセスWT

TEL

096-342-3518

メール

yoshioka *1 kumamoto-u.ac.jp *1を@tech.に置き換える