装置概要

装置ID

370

メーカー

メイワフォーシス株式会社

形式

FS-8-SP57

設置場所

黒髪南地区キャンパス SOIL棟5階　半導体機器室(S502)

概要

使用波長　　　　370 ～ 950 nm
入射角　　　　　65°
サンプルサイズ　φ200mm、厚さ20mm

管理者

半導体プロセスWT

TEL

3518

メール

yoshioka *1 kumamoto-u.ac.jp *1を@tech.に置き換える