装置概要

装置ID

371

メーカー

滝沢産業株式会社

形式

ED-1200

設置場所

黒髪南地区キャンパス SOIL棟5階クリーンルーム

概要

卓上タイプのスイングノズル式エッチング装置です。液晶タッチパネルにてプログラムが簡単入力操作となっています。対応基板サイズはφ1インチ～φ6インチです。主に基板上の薄膜処理において、高い面内均一性と安全性を追求した仕様となっています。

管理者

半導体プロセスWT

TEL

096-342-3518

メール

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