装置概要

装置ID

372

メーカー

滝沢産業株式会社

形式

AD-1200

設置場所

黒髪南地区キャンパス SOIL棟5階クリーンルーム

概要

卓上タイプのスイングノズル式現像・パドル対応装置です。液晶タッチパネルにてプログラムが簡単入力操作となっています。対応基板サイズはφ1インチ～φ6インチです。加圧タンク又はマイクロポンプによる液の吐出となっています。

管理者

半導体プロセスWT

TEL

096-342-3518

メール

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