装置概要

装置ID

45

メーカー

株式会社日立ハイテク

形式

NB5000

設置場所

黒髪南キャンパス 工学部附属工学研究機器センター・3階・306室

概要

試料表面の特定領域を研削加工
特定領域へのC, Wの成膜やプローブによる試料の採取
FIB加工中および加工後の試料の高分解能SEM観察が可能
反射電子検出器およびEBSD検出器も備え持つ

管理者

山室　賢輝

TEL

096-342-3823

メール

yamamuro@tech.kumamoto-u.ac.jp