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267 件の登録があります
ソート
装置ID(登録順)
装置情報更新日
準備中(10月1日から稼働予定)
SOIL スピンコーター
MS-B100
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メーカー
ミカサ株式会社
設置場所
黒髪南地区キャンパス
SOIL棟5階クリーンルーム
準備中(10月1日から稼働予定)
SOIL ALD装置
AD-800LP
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メーカー
サムコ株式会社
設置場所
黒髪南地区キャンパス
SOIL棟5階クリーンルーム
準備中(10月1日から稼働予定)
SOIL プラズマCVD装置
PD-220NL
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メーカー
サムコ株式会社
設置場所
黒髪南地区キャンパス
SOIL棟5階クリーンルーム
準備中(10月1日から稼働予定)
SOIL ICPエッチング装置
RIE-400iPB
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メーカー
サムコ株式会社
設置場所
黒髪南地区キャンパス
SOIL棟5階クリーンルーム
準備中(10月1日から稼働予定)
SOIL ラミコーチ
LAMIKOACH J 645-H
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メーカー
興研株式会社
設置場所
黒髪南地区キャンパス
SOIL棟5階 半導体機器室(S502)
準備中(10月1日から稼働予定)
SOIL エリプソメーター
FS-8-SP57
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メーカー
メイワフォーシス株式会社
設置場所
黒髪南地区キャンパス
SOIL棟5階 半導体機器室(S502)
準備中(10月1日から稼働予定)
SOIL エッチング装置
ED-1200
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メーカー
滝沢産業株式会社
設置場所
黒髪南地区キャンパス
SOIL棟5階クリーンルーム
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